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答案: 绿碳化硅制造方法同黑色碳化硅,但采用的原材料纯度要求较高,也在电阻炉中2200°C左右的高温下形成,绿色,呈半透明状,六方晶形,其Sic含量较黑色为高,更多关于绿碳化硅成套 绿碳化硅成套设备工作原理答案: 绿碳化硅制造方法同黑色碳化硅,但采用的原材料纯度要求较高,也在电阻炉中2200°C左右的高温下形成,绿色,呈半透明状,六方晶形,其Sic含量较黑色为高,更多关于绿碳化硅成套
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了解更多碳化硅衬底精密加工技术_ 冯玢,潘章杰,磊-《电子工业专用设备》-2013-被引量:1[####]摘 要: 介绍了一种包含多线切割、研磨、抛光等主要工序的75 mm(3英寸)碳化硅衬底精密加工技术,该技术成功对本单位自主研制的碳化硅衬底进行精密加工。 绿碳化硅加工设备工作原理-厂家/价格-采石场设备网碳化硅衬底精密加工技术_ 冯玢,潘章杰,磊-《电子工业专用设备》-2013-被引量:1[####]摘 要: 介绍了一种包含多线切割、研磨、抛光等主要工序的75 mm(3英寸)碳化硅衬底精密加工技术,该技术成功对本单位自主研制的碳化硅衬底进行精密加工。
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